硅基压力传感器 silicon-based pressure sensors，是一种以硅或硅复合伙料为根基资料，由能独立实现压力丈量职能的敏感器件（或组件）组成的传感器。
今天跟各人分享的是关于该型传感器环境机能试验和委顿寿命试验的内容。
试验前筹备：
a）衔接方式
被测传感器与激励电源、压力源和读数装置的衔接方式，应切合产品技术前提（具体规范）的划定。
b）预置功夫
被测传感器应在试验环境下达到温度平衡 1h 以上。通电预热功夫应不幼于 30min 或按产品技术前提（具体规范）的划定。
1、环境机能试验
1.1 要求
1.1.1 低温试验
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.2 高温试验
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.3 温度变动
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.4 振动
振动过程中和试验后，传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.5 冲击（合用时）
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.6 加快率（合用时）
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.7 湿热
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.8 霉菌（合用时）
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.9 盐雾（合用时）
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.10 电磁兼容性（合用时）
试验中及试验后，传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.1.11 高温电寿命（合用时）
试验中及试验后，传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
1.2 试验步骤
1.2.1 低温试验
按 GB/T 2423.1-2008 中 5.2 划定的试验步骤和以下划定试验：
——试验温度：应为 5.2 划定的工作温度领域下限值；
——降温快率：试验箱内温度变动快率应不超过 1℃/min；
——持续功夫：宜从下列数值中拔取或按产品技术前提（具体规范）划定：2h，16h，72h，96h；
——工作前提：从降温起头通电；
——升温快率：试验持续功夫实现时，升温至室温，温度变动快率应不超过 1℃/min；
——复原功夫：在通常试验的大气环境前提下进行复原，至少 2h。
传感器在室温状态不变后，应按划定进行零点输出或产品技术前提（具体规范）划定的机能测试，了局应切合 1.1.1 的划定。
1.2.2 高温试验
按 GB/T 2423.2-2008 中 5.2 划定的试验步骤和以下划定试验：
——试验温度：应为 5.2 划定的工作温度领域上限值；
——升温快率：试验箱内温度变动快率应不超过 1℃/min；
——试验功夫：宜从下列数值中拔取或按产品技术前提（具体规范）划定：2h，16h，72h，96h，168h，240h，336h，1000h；
——工作前提：从升温起头通电；
——降温快率：试验持续功夫实现时，降温至室温，温度变动快率应不超过 1℃/min；
——复原功夫：在通常试验的大气环境前提下进行复原，至少 2h。
传感器在室温状态不变后，应按划定进行零点输出或产品技术前提（具体规范）划定的机能测试，了局应切合 1.1.2 的划定。
1.2.3 温度变动
按 GB/T 2423.22-2002 中划定的试验步骤和以下划定试验：
——试验温度：按产品技术前提（具体规范）划定拔取低温点和高温点；
——维持功夫：宜从下列数值中拔取或按产品技术前提（具体规范）划定：3h，2h，1h，30min；
——转换功夫：高和善低温之间转换功夫应不大于 3min；
——循环数：循环数应为 5 个，或按产品技术前提（具体规范）划定；
——复原功夫：在通常试验的大气环境前提下进行复原，至少 2h。
传感器在室温状态不变后，应按划定进行零点输出或产品技术前提（具体规范）划定的机能测试，了局应切合 1.1.3 的划定。
1.2.4 振动
按 GB/T 2423.10-2008 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应给出频率领域、振动幅值、加快率、振动方向和持续功夫。纪录传感器振动前和振动过程中及振动后的零点输出信号，按划定推算振动对传感器零点影响，了局应切合 1.1.4 的划定。
1.2.5 冲击
按 GB/T 2423.5-1995 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应给出以下划定：
——脉冲波形；
——冲击方向和次数；
——峰值加快率；
——标称脉冲持续功夫。
试验后应检测传感器表观，并按划定进行零点输出测试或产品技术前提（具体规范）划定的机能的测试，了局应切合 1.1.5 的划定。
1.2.6 加快率
按 GB/T 2423.15-2008 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应给出以下划定：
——加快率等级；
——加快率轴线和方向；
——持续功夫；
——试验检测的职能及要求。
试验后应检测传感器表观，并按划定进行零点输出测试或产品技术前提（具体规范）划定的机能的测试，了局应切合 1.1.6 的划定。
1.2.7 湿热
按 GB/T 2423.3-2006 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应给出以下划定：
——试验温度、相对湿度；
——持续功夫：宜从下列数值当选。12h，16h，24h 或 2d，4d，10d，21d，56d；
——复原功夫：应不少于 2h。
试验后，应检测传感器表观、绝缘电阻和零点输出，了局均应切合 1.1.7 的划定。
1.2.8 霉菌
按 GB/T 2423.16-2008 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应给出以下划定：
——试验步骤及试验持续功夫；
——试验后长霉水平的合格判定等级。
试验后，应检测传感器的绝缘机能或产品技术前提（具体规范）划定机能，了局应切合 1.1.8 的划定。
1.2.9 盐雾
按 GB/T 2423.17-2008 中划定的试验步骤进行试验，产品技术前提（具体规范）应划定试验周期，宜从下列数值当选。16h，24h，48h，96h，168h，336h，678h。
试验后，应检测传感器表观、绝缘机能或其他划定机能，了局应切合 1.1.9 的划定。
1.2.10 电磁兼容性
电磁兼容性试验仅适于产品设计定型时的型式检验。试验样品数量可单独划定。
产品技术前提（具体规范）应凭据传感器使用场所的电磁骚扰类型、环境前提、靠得住性水平综合成分，按 GB/T 17626.1-2006 中表 1 要求，确定抗扰度试验项目和严格度等级。
抗扰度试验过程中应测试传感器零点输出变动，产品技术前提（具体规范）应划定可接受的零点变动误差领域。了局应切合 1.1.10 的划定。
1.2.11 高温电寿命
在试验的通常大气前提下，将传感器放入温度箱，按产品技术前提（具体规范）划定施加激励电源，调整温度箱至上限工作温度，试验功夫按产品技术前提（具体规范）划定，试验期间按划定监测传感器输出。试验后取出传感器复原到室温，而后进行产品技术前提（具体规范）划定的项目检测。了局应切合 1.1.11 的划定。
2、委顿寿命试验
2.1 要求
试验后传感器应切合产品技术前提（具体规范）划定的机能要求。
2.2 试验步骤
传感器装置到委顿试验装置上，按产品技术前提（具体规范）划定的压力、频率、波形和循环次数进行压力循环试验，压力下限应节造在 0%FS~20%FS 领域内，压力上限应节造在 80%FS~100%FS 领域内。试验后应测试传感器零点输出和满量程输出，或按产品技术前提（具体规范）划定的项目检测，了局应切合 2.1 的划定。
