氦质谱仪背压检漏步骤：

1、试验道理

将被检件放入充氦箱，充入肯定压力的氦气，在划定的加氦功夫内，氦气通过被检件存在的漏孔进入内部，将被检件从充氦箱中取出，用氮气或干燥空气吹除被检件表表残存氦气，在划定的功夫内，放入测试室，用氦质谱检漏仪测定被检件漏率，如图 1 所示。

1——氦气；2——充氦系统；3——充氦箱；4-被检件；

5——测试室；6——氦质谱检漏仪；7——尺度漏孔。

图 1 氦质谱背压检漏道理示意图

2、试验法式

2.1 充氦加压背压检漏

充氦加压背压检漏通常按如下步骤进行；

a）开启氦质谱检漏仪，使氦质谱检漏仪处于正常检漏状态。

b）将被检件放入测试室，打开氦质谱检漏仪对测试室抽真空，测试检漏的本底值。用接在测试室上的尺度漏孔校验检漏有效最幼可检漏率，其值按公式（1）推算：

式中：

?_min——检漏最幼可检漏率，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s）；

I_n——检漏仪噪声信号，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s）；

I——尺度漏孔对应于检漏仪的输出信号，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s）；

k——氦质谱检漏仪的本底值，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s）；

?₀——尺度漏孔的标称值，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s） 。

c）对被检件进行附着物处置（油脂可用有机溶剂去除，指印可擦除），放入 100℃ 的烘箱烘烤 1h，取出后用氮气或干燥空气陆续吹密封面 5min 以上。

d）将被检件放入充氦箱中，对充氦箱抽真空，压力低于 100Pa 后，用 GB 4844-1984 划定的纯氦充入充氦箱，充氦功夫大于 20s，当压力达到要求充氦压力后，保压至要求的功夫。

e）用大于 20s 的功夫排放充氦箱中的氦气至零表压，取出被检件，并用氮气或干燥空气将被检件吹 5min 以上。

f）将有氮气的被检件放入与氦质谱室相连的测试室中，测试被检件的丈量漏率为 R。

凭据被检件内部可充气体的体积V和允许最大等效尺度漏率L，按公式（2）推算丈量漏率的极限值及 R1；

式中：

R₁——示漏气体（氦）的丈量漏率极限值，单元为帕斯卡立方米每秒 （Pa·m?/s）；

L——允许最大等效尺度漏率，单元为帕斯卡立方米每秒（Pa·m?/s）；

P_e——充氦压力，单元为帕斯卡（Pa）;

P₀——大气压力，单元为帕斯卡（Pa）;

t₁——加压功夫，单元为秒（s）：

t₂——净化功夫，即加压实现至检漏的功夫，单元为秒（s）：

V——被检件内腔的体积，单元为立方米（m?）。

例如：某被检件的等效漏率L和丈量漏率R1极限值的推算曲线拜见附录A。

h）凭据公式（3）推算,得出最大可测试的等校漏率 L_max。

i）当 P₀V/L≥60h（2*10⁵）时，公式（2）可简化为公式（4）和公式（5）：

j）对于 L 幼于 L_max 的被检件，当被检件的丈量漏率 R 大于 R₁ 时，被检件漏率超标，判定为不合格。

对于 R 幼于 R₁ 的被检件，选择最幼可检漏率大于 L_max 的粗检步骤进行粗检，确定被检件无大漏后，判定被检件为合格。

2.2 预埋氨封接背压检漏

2.2.1预埋氦封接背压检漏通常合用于预先充入氦气的被检件，按如下步骤进行：

a）当被检件中预先充入分压力为 P_s 的氦气后封接，在候检功夫 t₃ 后放入测试室中，抽空检漏。

b）按 2.1a）、b）的法式校验检漏最幼可检漏率。

c）凭据被检件内部可充气体的体积V和允许最大等效尺度漏率 L，按公式（6）推算丈量漏率的极限值 R₁：

式中：

P_s——充氦分压力，单元为帕斯卡（Pa）：

t₃——候检功夫，即加压实现至检漏的功夫，单元为秒（s）。

d）按 2.1h）、i）、j）的法式判定被检件漏率是否超标。

2.2.2 封接后搁置功夫过长（大于 30d），或要求复验查抄的被检件，应依照 2.1 进行。