氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域里不成短缺的一种技术，设备拥有检漏效能高、轻便易操作、仪器反映活络、精度高、不易受其他气体的滋扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了宽泛利用。氦质谱检漏仪检漏中最常用的两种步骤是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种步骤之表，氦质谱检漏仪的检漏步骤多达6种，且每种测试也各有自己的利益，今天幼编就跟各人遍及一下。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤一：喷枪测试法

喷枪测试法重要用在真空环境下定位泄漏点。首先，检漏仪将检测部件内部的气体抽到肯定的真空度。而后，探测气体通过喷枪喷扫在部件的表表表。通过泄露点进入的探测气体流量定位泄漏点。

喷枪测试法拥有定位泄漏、高活络度、操作轻便、部门或整体测试等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤二：吸枪测试法

吸枪测试法是通过正压的步骤定位泄漏点。首先，向测试部件内充入肯定压力的探测气体。而后，吸枪探头对被测部件周围进行检测。若是存在泄漏，检漏仪会探测出表泄的探测气体从而定位泄漏点。

吸枪测试法拥有定位泄漏、无需在真空环境下进行测试、操作轻便等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤三：真空箱测试法

真空箱测试法重要利用于出产线环境。测试部件被搁置在充斥探测气体的真空腔体内。若是发现有泄漏，探测气体味从测试部件内逃到真空腔体内，从而检测出泄漏点。

真空箱测试法拥有高活络度、高产量、便于集成到产线上、易于校准、高沉复性等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤四：背压法

背压法要求测试部件是已经密封好的，没有气体表泄也不能加压。将测试部件置于真空腔体内，灌入探测气体并加压。若是发现有泄漏，由于气压关系探测气体味进入到测试部件内部。随后将被测部件脱离真空环境。由于压差关系，原先进入到测试部件内的探测气体味脱附出来，同时被检漏仪检测出。背压法是高活络测试密封部件漏率的唯一解决规划。其特点是拥有高沉复性。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤五：氦罩法

氦罩法用于测试检测气体能否进入被测试部件。在测试腔体内部将测试部件与检漏仪相互衔接并且抽气。腔体内充斥检测气体。若是有泄漏，检测气体味渗入到测试部件里，从而检测出泄漏。

氦罩法能够实现高度自动化操作，拥有高活络度、高产出、高沉复性等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏步骤六：吸枪累积法

吸枪累积法要求测试部件能够接受过压和必要作为一个齐全的产品被测试。将被测部件置于一个处于大气压力下充斥探测气体的堆集室内。在经过一段功夫的堆集，检漏仪分析腔体内的气体成分并且确认气体浓度是否有增长，从而丈量出漏率。其特点是方便集成在出产线上。

以上就是氦质谱检漏仪检测泄漏的6种步骤了，如有不到之表迎接指正！